저장캐비닛의 가스 실린더 보관에 관한 기술지침(P-149-2016)
o 관련규격 및 자료 - 이근원, “화학물질 혼합위험성 결정을 위한 반응성 매트릭스 개발(Ⅱ )”, 연구원 2014-연구원-598, 안전보건공단 산업안전보건연구원, 2014. - SEMI S4-92, “Safety Guideline for the Segregation/Separation of Gas Cylinders Contained in Cabinets“, SEMI, 1992. - SEMI S-0304, “Safety Guideline for the Separation of Chemical Cylinders Contained in Dispensing Cabinets“, SEMI, 2004. - KFPA, "반도체공업의 위험관리“, 2012. 저장캐비닛의 가스 실린더 보관에 관한 기술지침(P-149-20..
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